管式爐具有操作簡(jiǎn)單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點(diǎn),主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。管式爐的爐型有很多種,如立式、臥式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、五溫區(qū)、單管、雙管等等。在實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)中,應(yīng)如何選擇管式爐爐型呢?下面簡(jiǎn)單介紹一下如何根據(jù)要求來(lái)選擇管式爐:
1、根據(jù)工作溫度要求選擇:如果工作溫度要求小于1200°C,可選擇爐管為石英管,加熱元件是含鉬電阻絲的管式爐;如果工作溫度大于1200小于1400,可選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅碳棒的管式爐;如果工作溫度大于1400小于1700,可以選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅鉬棒的管式爐;
2、根據(jù)升溫速率要求來(lái)選擇:如果升溫速率要求不高,0-30°C/min,一般的管式爐都可以選擇,但如果升溫速率要求比較高,大于30°C/min,需要選擇具有快速退火功能的管式爐,比如滑動(dòng)式快速退火爐,RTP快速退火爐等;
3、根據(jù)壓力要求來(lái)選擇,如果正壓超過(guò)0.03Mpa,需要選擇高壓管式爐,如果同時(shí)對(duì)溫度要求也比較高,需要選擇高溫高壓管式爐;
4、根據(jù)加熱區(qū)來(lái)選擇,如果需要多個(gè)溫區(qū)來(lái)進(jìn)行加熱,則選擇多溫區(qū)管式爐,具體溫區(qū)數(shù)可以根據(jù)要求來(lái)選擇;
5、根據(jù)工藝受熱要求來(lái)選擇,比如對(duì)特定材料要求受熱更均勻,可根據(jù)需求來(lái)選擇旋轉(zhuǎn)管式爐、多工位管式爐等。
那么讓我們?cè)谑褂霉苁綘t的時(shí)候應(yīng)當(dāng)特別注意哪些情況呢?
1)使用之前查驗(yàn)開(kāi)關(guān)電源,確定各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)標(biāo)后,再開(kāi)始工作;
2)使用的全過(guò)程中不要再超出管式爐的大溫度;
3)讓我們?cè)谘b取試件的時(shí)候,要帶上隔高溫的手套、口罩等防護(hù)具體措施,避免觸電燙傷及其吸進(jìn)高溫?fù)]發(fā)掉的有害氣體;
4)實(shí)驗(yàn)物品應(yīng)當(dāng)放到爐管中央,不可以亂排,不然影響實(shí)驗(yàn)效果;
5)實(shí)驗(yàn)全過(guò)程中,不要再亂摸管式爐及其四周的試件;
6)熱電偶不可以在高溫的狀態(tài)下拔出,避免出現(xiàn)外套管的炸裂;
7)如果管式爐密封的話,不可以通入易燃易爆氣體,爐體應(yīng)當(dāng)放到空氣流通處,時(shí)刻維持爐內(nèi)清潔度;
8)不可以講高溫的溶液漏到爐底上,可以墊板或者氧化鋁粉隔離;
9)一旦實(shí)驗(yàn)全過(guò)程中發(fā)現(xiàn)機(jī)器故障,讓我們應(yīng)當(dāng)?shù)谝粫r(shí)間關(guān)閉電源,待爐體冷卻后查驗(yàn)原因;
10)不可以用沾有水和油的夾子裝取試件,避免發(fā)生火災(zāi)事故;
11)管理員如果不允許的話,不可以操作管式爐,要按照管式爐的控制規(guī)程進(jìn)行執(zhí)行。